加热燃烧喷淋水洗式    PECVD尾气处理设备（SCRUBBER）半导体尾气处理设备

尺寸：800长×805宽×1900高

类型：加热水洗式

处理能力：400升/分钟

排污方式：自然排+泵强排

喷淋室：加压喷射

水处理方式：泵循环+自来水

冷却方式：动力冷却循环水

电源：220V、40A

该设备主要应用于半导体行业、TFT-LCD行业以及太阳能光伏行业中的蚀刻与CVD制程。主要处理气体包括刻蚀与化学气相沉积制程中常见的有毒腐蚀气体，包括SiH4、SiH2CL2 、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。在业界有应用广泛，无粉尘积聚问题维护简便采用防腐蚀材料与技术采用循环系统减少水量消耗，运行与维护方便且成本低。根据废气的不同性质，尾气处理方式: □湿法处理(Wet Scrubber):水喷淋吸收溶解,如NH3、CL2、HCL、BCL3、HBr等处理 □热湿处理(Thermal & Wet Scrubber):燃烧或电加热及湿法喷淋处理，能够完全彻底处理废气，如SiH4、Geh4、TEOS、DCS、PH3 、CF4、H2、WF6等处理北京邦联成科技有限公司 T: F: